臺式的熒光X射線膜厚儀，是通過一次X射線穿透金屬元素樣品時·產生低能量的光子，俗稱為二次熒光，,在通過計算二次熒光的能量來計算厚度值。

保障膜厚儀測量顯示值準確性必要懂得以下小技巧

基體金屬特性

不應在試件的彎曲表面上測量。